平面拋光機(jī)鏡面加工技術(shù)是一門新興的綜合性加工技術(shù)，它集成了現(xiàn)代機(jī)械、光學(xué)、電子計(jì)算機(jī)、測量及材料等先進(jìn)技術(shù)成就，已成為科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。

 

　　隨著各種新型功能陶瓷材料的不斷研制成功，以及這些材料在各種高性能電子元器件、光學(xué)、信息系統(tǒng)等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，要求元件和零件的加工精度越來越高，有的甚至要求達(dá)到納米級(jí)或更高的加工精度以及無損傷的表面加工質(zhì)量。 對(duì)于拋光來說，主要是在維持研磨所取得良好的平面度前提下，去除工件表面微小的凸起和表面損傷層，以獲得鏡面光度。所以要求均與、無方向性地拋光整個(gè)工件表面。

　　反映在速度上，就是工件表面上每一點(diǎn)的相對(duì)速度大小應(yīng)在任何時(shí)候都保持恒定。工件是不變形的剛體，拋光盤是能按工件加工面形狀變形的彈性體。這時(shí)可以忽略介于兩者之間的磨粒與加工液的厚度和形狀變化，認(rèn)為工件與拋光盤間全面貼緊;當(dāng)工件尺寸大于拋光盤半徑，或偏心距過大時(shí)，工件會(huì)露出拋光盤